Item type:Thesis, Open Access

Herstellung und elektronische Eigenschaften hydrogenierter amorpher Siliziumfilme, abgeschieden unter extremen Depositionsbedingungen

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Date

2004-03-16

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Publisher

Philipps-Universität Marburg
DOI

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Dates
Created: 2004Issued: 2004-03-16Updated: 2011-08-10
DOI
https://doi.org/10.17192/z1998.0001
Faculty
Fachbereich Physik
Publisher
Philipps-Universität Marburg
Language
ger
Data types
DoctoralThesis
Keywords
SiliciumArmorpher Halbleiter , WasserstoffDünne Schicht , PECVD-Verfahren
DDC-Numbers
530
License
https://rightsstatements.org/vocab/InC-NC/1.0/
URI
https://open.uni-marburg.de/handle/10.17192/z1998.0001
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Will, Stephan (118115693): Herstellung und elektronische Eigenschaften hydrogenierter amorpher Siliziumfilme, abgeschieden unter extremen Depositionsbedingungen. : Philipps-Universität Marburg 2004-03-16. DOI: https://doi.org/10.17192/z1998.0001.

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