Item type:Thesis, Open Access

Ionenassistierte Magnetron-Sputterdeposition von kristallinen Siliziumschichten für Dünnschichtsolarzellen

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Date

2002-01-04

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Philipps-Universität Marburg
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Supervisor:
Dates
Created: 2002Issued: 2002-01-04Updated: 2011-08-10
DOI
https://doi.org/10.17192/z2002.0273
Faculty
Fachbereich Physik
Publisher
Philipps-Universität Marburg
Language
ger
Data types
DoctoralThesis
DDC-Numbers
530
License
https://rightsstatements.org/vocab/InC-NC/1.0/
URI
https://open.uni-marburg.de/handle/10.17192/z2002.0273
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Reinig, Peter (108194612): Ionenassistierte Magnetron-Sputterdeposition von kristallinen Siliziumschichten für Dünnschichtsolarzellen. : Philipps-Universität Marburg 2002-01-04. DOI: https://doi.org/10.17192/z2002.0273.

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